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PoC에서는 블라인드 시험 데이터에서 미검출이 나오지 않았고, 미스릴은 올해 말까지 실제 장비에서 오검출과 미검출, 응답 속도, 장시간 가동 안정성을 확인한다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴은 이상 탐지 F1 점수 0.93 이상, 오검출률 1% 이하, 원인 후보 3개 내 실제 원인 포함 비율 85% 이상, 대응안 제시 2초 이내, 최초 학습 성능의 90% 이상 승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴은 AI가 이상을 찾은 뒤 원인 후보와 대응값을 제시하도록 설계했고, 사전에 정한 안전 범위 안에서 일부 값을 AI가 자동으로 고치는 기능도 개발한다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
S사는 PoC 초기에는 AI의 이상 탐지 정확도를 주로 확인했고, 제품화 단계에서는 AI가 이상으로 판단한 근거를 제시하는 기능도 요구했다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴이 개발하는 '클리닝 AI 브레인(Cleaning AI Brain)'은 세정장비에서 나오는 압력, 유량, 온도, 화학약품 농도, 밸브 움직임, 공정 시간, 장비 운전 기록, 승인보도·미확인2026.10.23 12:57
양품 웨이퍼 51장과 불량 웨이퍼 4장의 데이터를 AI에 학습시킨 뒤, 학습에 쓰지 않은 시험 데이터 16건으로 성능을 확인했고, 그 결과를 토대로 4월 제품화 개발 계약을 체결했승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴은 올해 2~3월 S사와 개념검증(PoC)을 실시했고, 개발 시작 7영업일 만에 시험 시스템을 만들었다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴은 올해 말까지 성능을 검증하고 내년부터 양산 장비에 AI를 탑재한다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
미스릴이 국내 반도체 장비업체 S사와 2억3000만원 규모의 세정장비용 AI 제품화 계약을 맺었다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라뷰는 장비 완성도를 높인 후 국내외 주요 유리기판 기업의 양산 일정에 맞춰 장비를 공급할 계획이다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
최근 업계는 유리기판 상용화 시점을 지난해 전망 대비 2년 지연된 2030년 전후로 보고 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
해당 장비는 엔비디아와 AMD 등 주요 반도체 기업·협력사에도 공급되고 있다는 보도가 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
지난 5일 테라뷰는 10억7300만원 규모의 EOTPR 장비 공급 계약을 체결했으며, 고객사는 AI 칩을 만드는 하이퍼스케일러다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라코타는 EOTPR 방식 대비 정밀도는 떨어지나 실시간 고속 검사가 가능하고, 전도성 금속 배선이 없는 시료도 탐지할 수 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라코타는 완전 비접촉 탐지 방식으로, 센서가 시료 표면 위를 지나가며 테라헤르츠파를 조사하고 훑는다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라뷰는 테라헤르츠파 기반 '광전 테라헤르츠 펄스 반사 측정(EOTPR)' 장비와 '테라코타' 장비를 개발해 공급하고 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
TGV는 유리기판에 수십에서 수백㎛ 크기의 미세 구멍을 가공해 전기 연결을 구현하는 공정 기술이다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
현재 영국 대학·연구소에서 제조한 연구개발용 유리기판 시료로 실증 테스트를 거치고 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라뷰는 영국 본사에서 신형 유리기판 검사장비를 개발하고 있으며, TGV 공정 직후 유리기판의 미세 균열을 파악하는 용도다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라뷰의 목표는 신규 유리기판 TGV 검사 장비의 검출도를 5마이크로미터 이하까지 높이는 것이다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
테라뷰가 유리기판의 유리관통전극(TGV)을 비파괴로 검사하는 신규 장비의 기술 검증(PoC)을 시작했다.승인보도·미확인2026.10.23 12:57
비씨엔씨 소송대리인은 항소심을 진행할 예정이라고 밝혔다.승인보도·미확인2026.10.23 12:56
애프터마켓은 반도체 장비 제조사를 거치지 않고 부품업체가 반도체 제조사에 교체용 부품을 직접 공급하는 시장이며, 램리서치 등 장비 기업과 정품 계약을 맺은 주문자상표부착생산(OEM승인보도·미확인2026.10.23 12:56
램리서치는 비씨엔씨 외에도 국내 반도체 부품 애프터마켓 업체와 지식재산권 분쟁을 벌이고 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:56
특허심판원은 램리서치의 엣지링 관련 특허 3건 가운데 2건에 무효, 1건에 유효 심결을 내렸고 양사는 불리한 심결에 각각 불복해 특허법원에서 다투고 있다.승인보도·미확인2026.10.23 12:56